Дисертації

Руденко Р.М.

25.05.2015

Вплив олова на формування нанокристалічного кремнію в тонких плівках a-Si та a-SiOx
01.04.07 – фізика твердого тіла
к.ф.-м.н.

Дисертація присвячена дослідженню впливу ізовалентної домішки олова на процеси формування нанокристалічного кремнію у тонких плівках кремнію та субоксиду кремнію. Експериментально встановлено, що формування кристалічної фази у a-SiSn відбувається при нижчій температурі, ніж в a-Si. При цьому спостерігається кореляція між температурою кристалізації Si кластерів та концентрацією домішки олова. Показано, що домішка олова сповільнює та обмежує ріст середніх розмірів кремнієвих кристалітів в аморфній матриці кремнію з ростом температури ізохронного відпалу. Для плівок аморфного кремнію, легованих оловом, середні розміри кристалітів кремнію є меншими 10 нм у більш широкому температурному діапазоні, ніж для нелегованих плівок. Встановлено, що легування оловом плівок субоксиду кремнію веде до пониження температури кристалізації включень аморфного кремнію. При цьому у легованих оловом плівках субоксиду кремнію нанокристали Si утворюються менші за розміром порівняно зі зразками без олова.

Оставить комментарий:

Имя:
Email:
Сайт:
Комментарий:

(Spamcheck Enabled)